ZEM系列臺(tái)式掃描電鏡-能譜一體機(jī)采用自主研發(fā)的鎢燈絲電子槍?zhuān)铀匐妷鹤罡?0KV可調(diào)，搭配二次電子探測(cè)器、背散射電子探測(cè)器、集成式Oxford能譜儀，同時(shí)滿足形貌觀測(cè)及元素分析需求。

? 能譜儀參數(shù)

▲ 集成OxfordXploreCompact30能譜分析系統(tǒng)SuperATW窗口30mm2面積活區(qū)

▲ 分辨率優(yōu)于129eV（MnKα處）無(wú)需液氮冷卻

▲ 分析元素范圍：B5-Cf98

▲ 點(diǎn)、線、面掃描分析

▲ 全中文軟件操作界面（中英文切換功能）

? 電鏡主機(jī)特色

▲ 真空分隔技術(shù) ：采用獨(dú)特真空設(shè)計(jì)，電子槍和樣品倉(cāng)真空分離，換樣時(shí)間小于1min。

▲ 超大樣品倉(cāng)：提供了更大的樣品存儲(chǔ)空間，方便用戶操作。

▲ 超高分辨率：極限放大倍數(shù)達(dá)到36萬(wàn)倍，分辨率4nm@20kV。

▲ 選配減速模式：允許弱導(dǎo)電樣品在不噴金的情況下進(jìn)行觀察。

▲ 倉(cāng)內(nèi)攝像頭：樣品倉(cāng)內(nèi)置高清攝像頭，原位實(shí)驗(yàn)時(shí)可實(shí)時(shí)監(jiān)測(cè)樣品原位變化。