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如何使用掃描電鏡檢測(cè)樣品中的孔隙和缺陷？

使用掃描電子顯微鏡（SEM）?檢測(cè)樣品中的孔隙和缺陷是一種常用的方法，尤其在材料科學(xué)、金屬加工、半導(dǎo)體和納米技術(shù)等領(lǐng)域中廣泛應(yīng)用。

在掃描電子顯微鏡（SEM）?中進(jìn)行多點(diǎn)元素分布映射（即元素成分的空間分布分析），通常通過結(jié)合能量色散X射線光譜（EDS/EDX）技術(shù)來實(shí)現(xiàn)。

通過掃描電鏡（SEM）?進(jìn)行樣品的化學(xué)組成分析，通常需要結(jié)合能量色散X射線光譜（EDS，Energy Dispersive X-ray Spectroscopy）技術(shù)。

在掃描電鏡（SEM）?中進(jìn)行自動(dòng)化圖像拼接（又稱為馬賽克成像或拼圖成像）是實(shí)現(xiàn)大面積樣品高分辨率圖像的有效方式。

在掃描電子顯微鏡（SEM）?中，樣品旋轉(zhuǎn)功能可以通過調(diào)整樣品的空間方向，影響成像的視角和樣品表面特征的可見性。

掃描電鏡（SEM）?中的真空環(huán)境對(duì)樣品的成像效果有著至關(guān)重要的影響，主要體現(xiàn)在以下幾個(gè)方面：

掃描電鏡（SEM）?成像中的偽影（artifacts）可能會(huì)影響圖像的質(zhì)量和準(zhǔn)確性，產(chǎn)生偽影的原因主要包括以下幾種：

使用冷卻臺(tái)（Cryostage）可以有效減少掃描電鏡（SEM）成像中的熱效應(yīng)，從而提高成像質(zhì)量和樣品穩(wěn)定性。