掃描電鏡（SEM）在成像過程中對樣品表面狀態(tài)非常敏感，樣品表面不平整（如高低起伏、傾斜、凹凸不平）會對圖像質(zhì)量和分析結(jié)果產(chǎn)生多個方面的負(fù)面影響：

1. 圖像失焦、局部模糊

由于 SEM 的焦距是固定的，表面高度不一會使部分區(qū)域超出焦平面；

結(jié)果是：只有一部分區(qū)域清晰，其他區(qū)域模糊或無法聚焦；

特別是在高放大倍率下，這種現(xiàn)象更加明顯。

2. 成像畸變

當(dāng)表面傾斜或起伏劇烈時，電子束入射角度變化；

會導(dǎo)致圖像比例失真、邊緣拉伸或壓縮，甚至出現(xiàn)幾何變形；

特別是在測量微結(jié)構(gòu)尺寸時，會影響準(zhǔn)確性。

3. 信號收集不均，圖像亮度不一致

表面不平整導(dǎo)致二次電子或背散射電子發(fā)射方向不同；

會造成圖像中某些區(qū)域亮度增強(qiáng)或變暗，產(chǎn)生不自然的對比差異；

影響細(xì)節(jié)識別和表面結(jié)構(gòu)分析。

4. 帶電效應(yīng)加劇

不平整樣品上存在尖銳邊緣或突起部位，易聚集電荷；

結(jié)果是圖像出現(xiàn)漂移、噪聲、閃爍或不規(guī)則亮點；

尤其在未鍍膜的絕緣樣品上更為明顯。

5. 限制合適的工作距離和放大倍率

不平整樣品會導(dǎo)致某些區(qū)域過近或過遠(yuǎn)于物鏡極柱；

高倍率下容易發(fā)生焦點難以統(tǒng)一，甚至發(fā)生碰撞風(fēng)險；

會迫使你不得不選用較長工作距離、較低倍率，影響成像質(zhì)量。

6. 影響能譜分析（EDS）準(zhǔn)確性

高低起伏影響探測器的入射角度和信號路徑；

導(dǎo)致元素峰值強(qiáng)度波動、空間分布不清晰，甚至錯判含量；

特別是在表面傾斜部位，EDS 會出現(xiàn)陰影效應(yīng)或信號遮擋。

7. 難以進(jìn)行3D建?；虮砻娣治?/span>

若需利用圖像進(jìn)行表面重構(gòu)、紋理分析、深度測量等，高低不平會降低數(shù)據(jù)一致性與精度。