判斷掃描電鏡（SEM）圖像是否聚焦良好，主要依靠觀察圖像的細(xì)節(jié)清晰度和邊緣銳利度。以下是一些具體方法和技巧：

細(xì)節(jié)清晰度

圖像中微小結(jié)構(gòu)（如顆粒邊緣、紋理、裂縫等）是否清晰分明，沒有模糊或拖影。

細(xì)節(jié)處的對比度是否明顯，邊緣分界清楚。

邊緣銳利度

樣品表面形貌的邊緣線條應(yīng)清晰銳利，不出現(xiàn)模糊擴(kuò)散。

觀察邊緣是否有“暈影”或模糊，這通常表示焦點(diǎn)未對準(zhǔn)。

三維感和立體感

聚焦良好的圖像通常具有較強(qiáng)的立體感，陰影和高光分布合理。

焦點(diǎn)偏差會使圖像顯得扁平或細(xì)節(jié)層次不分明。

對比度變化

適當(dāng)調(diào)整焦距時(shí)，圖像對比度會出現(xiàn)明顯變化，正確聚焦時(shí)對比度高。

輔助調(diào)整

利用SEM軟件中的聚焦輔助功能（如自動對焦或聚焦峰值顯示）。

使用放大倍率逐步微調(diào)焦距，觀察圖像變化。

通過調(diào)節(jié)工作距離和電子束參數(shù)，尋找聚焦點(diǎn)。