掃描電鏡（SEM）圖像出現(xiàn)亮度不均，一般說明系統(tǒng)內(nèi)部或操作設(shè)置上出現(xiàn)了問題。常見原因和對(duì)應(yīng)處理方法可以從以下幾個(gè)方面入手排查和解決：

1. 樣品問題

樣品表面不平整或高低起伏大，導(dǎo)致電子束入射角變化，造成不同區(qū)域的信號(hào)強(qiáng)弱差異。

嘗試重新調(diào)整樣品姿態(tài)，保證待觀察區(qū)域盡量平整并與電子束垂直。

樣品導(dǎo)電性差，局部積累電荷（充電效應(yīng)），導(dǎo)致亮度漂移或局部過亮/過暗。

可以對(duì)樣品表面噴金或碳鍍膜，提高表面導(dǎo)電性，抑制充電。

2. 電子束設(shè)置問題

束流太大，容易引發(fā)局部充電或電子束過熱，造成圖像某些地方發(fā)白。

適當(dāng)降低束流（減小光闌孔徑或降低槍電流）。

加速電壓設(shè)置不合理，如果電壓過低，入射電子易受表面電荷影響；電壓過高，樣品易被擊穿。

根據(jù)樣品材質(zhì)調(diào)整合適的加速電壓，通常導(dǎo)電樣品高電壓，絕緣樣品低電壓。

3. 探測(cè)器或信號(hào)問題

探測(cè)器角度不當(dāng)，導(dǎo)致收集電子量不均。

調(diào)整探測(cè)器角度或切換不同探測(cè)器（如SE、BSE），使信號(hào)接收更均勻。

探測(cè)器老化、污染，導(dǎo)致接收效率下降或局部失靈。

檢查探測(cè)器狀態(tài)并清潔，如必要聯(lián)系維修更換。

4. 校準(zhǔn)與光學(xué)系統(tǒng)問題

電子束對(duì)中不良，束斑中心偏移，導(dǎo)致畫面邊緣亮度下降。

使用系統(tǒng)的“Gun Alignment”或“Beam Alignment”功能進(jìn)行重新對(duì)中。

掃描校準(zhǔn)錯(cuò)誤，導(dǎo)致信號(hào)增益隨掃描位置變化。

重新進(jìn)行掃描幅度和增益的校準(zhǔn)。

5. 設(shè)備環(huán)境問題

電源波動(dòng)或地線干擾，造成信號(hào)不穩(wěn)定，亮度變化。

檢查供電，必要時(shí)加裝穩(wěn)壓電源或UPS。

機(jī)身受潮或污染，特別是探測(cè)器區(qū)域。

保持設(shè)備環(huán)境干燥清潔，并定期進(jìn)行內(nèi)部維護(hù)。