在掃描電鏡 (SEM) 使用過程中，漂移與失焦問題會(huì)影響圖像的清晰度與精度。以下是應(yīng)對(duì)這些問題的詳細(xì)方法：

1. 減少樣品漂移的方法

1.1 等待熱穩(wěn)定 (Thermal Stabilization)

原因: 樣品剛放入時(shí)可能因溫度變化導(dǎo)致熱膨脹或收縮，從而引發(fā)漂移。 

解決辦法: 等待 10-30 分鐘 讓樣品與真空室溫度平衡。 

尤其是對(duì)于金屬或復(fù)合材料樣品，熱穩(wěn)定更為重要。 

1.2 降低束流強(qiáng)度 (Beam Current)

原因: 過高的電子束流強(qiáng)度會(huì)引發(fā)樣品局部加熱，導(dǎo)致漂移。 

解決辦法: 使用較低的 探針電流 (Probe Current)，在保證成像質(zhì)量的前提下盡量減少電流強(qiáng)度。 

選擇合適的 Spot Size（束斑大小）。 

1.3 增加真空度

原因: 較低的真空度會(huì)導(dǎo)致殘余氣體吸附或釋放，從而引起樣品移動(dòng)。 

解決辦法: 盡量提高真空度（如 < 1010^{-5}10 Pa）。 

使用 低溫除氣 (Bake-Out) 或 預(yù)除氣 (Pre-Baking) 方法去除表面吸附的氣體分子。 

1.4 減少磁場(chǎng)和振動(dòng)干擾

原因: 外部磁場(chǎng)與機(jī)械振動(dòng)可導(dǎo)致樣品漂移。 

解決辦法: 使用 防震臺(tái) 和 磁屏蔽裝置。 

盡量避免在設(shè)備旁運(yùn)行大型電機(jī)或其他磁性設(shè)備。 

1.5 固定與導(dǎo)電處理

原因: 樣品固定不穩(wěn)或充電效應(yīng)會(huì)導(dǎo)致漂移。 

解決辦法: 使用 導(dǎo)電膠 或 銅帶 固定樣品，并確保良好接地。 

對(duì)非導(dǎo)電樣品進(jìn)行 鍍金、鍍碳 等導(dǎo)電處理。 

2. 減少失焦問題的方法

2.1 優(yōu)化加速電壓 (Acceleration Voltage)

原因: 過高的加速電壓會(huì)增加樣品內(nèi)部散射，導(dǎo)致失焦。 

解決辦法: 根據(jù)樣品材質(zhì)選擇合適的加速電壓（如 1-5 keV 適合薄膜、低密度樣品；10-20 keV 適合金屬、厚樣品）。 

2.2 校準(zhǔn)焦平面 (Focal Plane Calibration)

原因: 電子束的焦平面偏離會(huì)導(dǎo)致失焦。 

解決辦法: 使用 SEM 自帶的自動(dòng)對(duì)焦 (Auto Focus) 或 聚焦斑點(diǎn) (Stigmator) 功能。 

手動(dòng)調(diào)節(jié) Working Distance (工作距離)，使其與設(shè)備值一致（通常為 5-10 mm）。 

2.3 消除充電效應(yīng) (Charge Effect)

原因: 非導(dǎo)電樣品會(huì)產(chǎn)生充電效應(yīng)，導(dǎo)致電子束散射和失焦。 

解決辦法: 使用 低真空模式 (Low Vacuum / VP-SEM) 或 環(huán)境掃描電鏡 (ESEM)。 

進(jìn)行 金屬鍍膜 (如 Au, Pt) 或涂覆導(dǎo)電漆。 

2.4 使用 Astigmatism 校正

原因: 非軸對(duì)稱的磁場(chǎng)或電子光學(xué)系統(tǒng)誤差會(huì)導(dǎo)致像差（Astigmatism），引起失焦。 

解決辦法: 調(diào)節(jié) 消像散器 (Stigmator) 的 X 軸與 Y 軸，直至圖像邊緣清晰、圓形物體無拉伸。 

2.5 控制環(huán)境溫度與濕度

原因: 溫度變化會(huì)導(dǎo)致電子槍、樣品臺(tái)等部分發(fā)生形變，引起失焦。 

解決辦法: 保持室溫 20-25°C，濕度 30-50%。 

設(shè)備開機(jī)后應(yīng)先 預(yù)熱 30 分鐘以上。 

3. 軟件方法與后期補(bǔ)償

3.1 數(shù)字圖像漂移校正 (Drift Correction)

功能: 使用 SEM 的 漂移校正功能（如 Cross-Correlation 方法）自動(dòng)補(bǔ)償因樣品或環(huán)境引起的漂移。 

適合長時(shí)間曝光或高分辨成像時(shí)使用。 

3.2 圖像疊加與后處理

方法: 使用 多次低劑量掃描疊加 (Frame Integration)，減少因漂移導(dǎo)致的模糊。 

后期使用圖像處理軟件（如 ImageJ 或 Igor Pro）進(jìn)行對(duì)齊與銳化。

以上就是澤攸科技小編分享的如何應(yīng)對(duì)掃描電鏡的漂移與失焦問題。更多掃描電鏡產(chǎn)品及價(jià)格請(qǐng)咨詢