掃描電鏡的散射電子衍射檢測器在電子顯微鏡中起到重要作用，可以提供有關樣品晶體結構和晶體學信息。以下是散射電子衍射檢測器的主要作用：

結構分析：散射電子衍射檢測器可用于分析樣品的晶體結構。當掃描電子束照射樣品時，樣品中的電子與晶格中的原子發(fā)生相互作用，導致電子的散射。通過檢測和分析散射電子的角度和強度分布，可以推斷樣品的晶體結構、晶格參數(shù)、晶面取向等信息。這對于研究材料的晶體學特性、晶格缺陷和相變等現(xiàn)象非常重要。

定性和定量分析：散射電子衍射檢測器還可以用于定性和定量分析樣品的晶體學特征。通過比較實驗衍射圖案與已知的標準或參考衍射圖案，可以確定樣品的晶體結構類型，并推斷出樣品的晶體學參數(shù)。同時，通過衍射峰的強度和位置，還可以進行定量分析，如晶體的相對含量、晶體的純度等。

晶體取向分析：散射電子衍射檢測器可以用于測量樣品的晶體取向。通過旋轉樣品或探測器，記錄散射電子的衍射圖案，在不同角度下觀察到的衍射斑的位置和形狀的變化，可以確定樣品的晶體取向。這對于確定晶體的晶軸方向、晶體的取向分布以及晶體的取向關系等非常有用。

ZEM18臺式掃描電鏡

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