掃描電鏡能譜一體機(jī)是光學(xué)表征儀器產(chǎn)品的全明星，用戶通過(guò)一臺(tái)設(shè)備就可以實(shí)現(xiàn)形貌表征及元素分析功能。研究樣品時(shí)，得到樣品的形貌信息只是解決了一半問(wèn)題。獲得樣品的元素組分信息往往也是非常必要的。

　　掃描電鏡能譜一體機(jī)內(nèi)部集成了用于分析樣品元素組分的能譜儀。對(duì)于很多既需要觀察表面形貌又要檢測(cè)表面元素組分分布的用戶非常適用，既減輕了用戶單次設(shè)備采購(gòu)成本，又具有體積小、集成化高、故障率低、易于使用維護(hù)等諸多優(yōu)點(diǎn)。

　　掃描電鏡能譜一體機(jī)標(biāo)配光學(xué)導(dǎo)航功能，點(diǎn)擊感興趣的區(qū)域，在數(shù)秒內(nèi)既可以得到樣品微觀形貌信息，點(diǎn)擊切換至能譜軟件界面可快速得到該區(qū)域的表面元素分布信息。

　　掃描電鏡能譜軟件可以使用戶實(shí)現(xiàn)多點(diǎn)分析，靈活檢測(cè)樣品的元素組分。同時(shí)，該軟件還支持元素分析線掃、面掃功能。優(yōu)化精簡(jiǎn)的操作界面可以幫助用戶更方便地收集、導(dǎo)出分析數(shù)據(jù)。

 -Bruker臺(tái)式掃描電鏡專用能譜儀軟件功能

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